基板处理装置和方法

本发明涉及基板处理装置和方法，基板处理装置可以包括：研磨垫支承部，支承研磨垫，所述研磨垫形成有研磨膜，所述研磨膜对附着于探针卡的探针销的异物进行研磨而进行清洗；研磨垫移送装置，能够将新的研磨垫装载到所述研磨垫支承部或者卸载老旧的研磨垫；以及缓冲模块，能够容纳所述新的研磨垫或者所述老旧的研磨垫。