一种高带宽的石墨烯/硅光强度调制器

本发明提供了一种高带宽的石墨烯/硅光强度调制器，属于硅基光电子集成芯片领域。该调制器包括硅光波导衬底、石墨烯‑高k栅介质‑石墨烯电容器结构、偏压端和接地端；所述硅光波导衬底上设置石墨烯‑高k栅介质‑石墨烯电容器结构；所述石墨烯‑高k栅介质‑石墨烯电容器结构由上、下两层石墨烯和上、下两层石墨烯中间的高k栅介质组成；所述上、下两层石墨烯两端分别设置偏压端和接地端。本发明的调制器利用无机分子晶体氧化锑/氧化铝作为复合高k栅介质，可以有效保持石墨烯的硅基室温载流子迁移率、剩余载流子浓度等材料电学品质，从而减小器件的电阻‑电容参数，为提升石墨烯/硅光强度调制器的高频模拟带宽提供了新的解决方案。