摘要
本申请提供了一种表达式编辑方法、装置、电子设备及存储介质,包括:检测表达式编辑器页面的下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中是否存在待检测晶圆数据相对应的表达式算法;若不存在,则在下拉框选项中的多个第一参考表达式算法中筛选出多个第二参考表达式算法,对多个第二参考表达式算法进行组合运算以及解析处理,确定出待检测晶圆数据的目标表达式算法;基于目标表达式算法对待检测晶圆数据进行处理确定出待检测晶圆数据的结果值,以使根据结果值确定出待检测晶圆是否存在缺陷。对表达式算法进行组合运算得到晶圆数据的目标表达式算法,对目标表达算法进行快速解析,从而更准确的确定出晶圆数据的缺陷,提高产品的质量。
技术关键词
表达式
算法
编辑方法
晶圆
编辑装置
组合模块
数据
机器可读指令
解析器
电子设备
处理器
可读存储介质
管理页面
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计算机
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