一种在谐波减速器上原位集成的薄膜式扭矩传感器及其制备方法

本发明属于机器人关节扭矩测量领域，提出一种在谐波减速器上原位集成的薄膜式扭矩传感器及其制备方法，薄膜式扭矩传感器原位集成在谐波减速器中柔轮法兰凹槽表面或法兰内侧平面，该薄膜式扭矩传感器自下而上包括中间过渡层薄膜、绝缘膜、扭矩敏感单元和保护膜。在柔轮法兰凹槽的一侧设置有薄膜式扭矩传感器的信号处理单元。扭矩敏感单元测得的扭转变形信息通过惠斯通电桥电路叠加后以电信号形式输出到信号处理单元。本发明的薄膜式扭矩传感器能够有效消除原位测量谐波减速器输出扭矩过程波发生器转动产生的干扰，获取准确的输出扭矩信息。通过本发明制备方法得到的薄膜传感器表面致密无孔。