基于晶圆加工的智能烟雾监测模型的构建方法及装置

本申请提出了一种基于晶圆加工的智能烟雾监测模型的构建方法及装置，包括以下步骤：本发明提出一种基于晶圆加工的智能烟雾监测模型构建方法，包括烟雾预测子网络、设备预测子网络、工艺预测子网络、注意力机制子网络和预测子网络；烟雾预测子网络由第一数量的LSTM块串联，对烟雾数据处理得第一特征；设备预测子网络用第二数量LSTM块串联得第二特征；工艺预测子网络以第三数量LSTM块串联得到第三特征。注意力机制子网络对三个特征加权融合，预测子网络根据融合特征预测晶圆加工问题及成因。本方案能有效提高晶圆加工的安全性和效率，为晶圆加工过程中的问题监测和成因分析提供有力支持。