一种射频电源系统及调制防功率过冲的方法

本发明提出了一种射频电源系统及调制防功率过冲的方法，该方法涉及低频高功率射频电源系统，该系统核心包括：射频信号驱动模块、功率放大器模块、功率合成模块、功率检测模块以及处理器模块，射频电源系统在脉冲功率调制时，低功率转换为高功率的功率爬升阶段，当要求功率快速上升时，会存在输出功率过冲的现象。本发明通过在功率爬升阶段，非线性方法调整两路射频驱动信号的相位差和降低功率放大器供电电压，来有效抑制功率过冲，确保射频电源的稳定运行。