单分子传感阵列模块、定量分析芯片及定量分析方法

本发明提供一种单分子传感阵列模块、定量分析芯片及定量分析方法，可实现高通量并行化单分子的激发和传感，检测灵敏度极限可达到单分子级别；对超低浓度目标分子的光信号可形成标准曲线，利用数字化处理方法解决光信号强度不均匀、不重复的问题，可实现超低浓度分子准确的定量分析，提高检测灵敏度，灵敏度等级达到单分子级别。在临床医学、生命科学、食品检测、环境保护、国防与公共安全以及基础研究等领域具有巨大的应用价值。同样可应用于单分子免疫检测当中，实现超低检测极限的单分子免疫检测。