摘要
本发明提供一种封装芯片及其制造方法,所述封装芯片包括:第一转接板及第二转接板,第二转接板与第一转接板键合;工作芯片,设置在第一转接板远离第二转接板的一侧;至少一个凹部,设置在第一转接板靠近第二转接板的表面;至少一个凹部,设置在第二转接板靠近第一转接板的表面,凸部与凹部对位嵌套;第一金属层,铺设在第一转接板靠近第二转接板的表面,第一金属层覆盖凹部;第二金属层,铺设在第二转接板靠近第一转接板的表面,第二金属层覆盖凸部;以及绝缘层,设置在第一金属层和第二金属层之间,第一金属层、绝缘层和第二金属层形成电容器件。通过本发明提供的一种封装芯片及其制造方法,可解决片上系统对于电容的容量和位置需求的问题。
技术关键词
封装芯片
转接板
硅通孔结构
电容器
六边形
片上系统
嵌套
蚀刻
矩形
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