一种基于物镜光轴偏离显微镜主光轴实现超分辨光学显微成像的方法

本发明提供了一种基于物镜光轴偏离显微镜主光轴实现超分辨光学显微成像的方法。本发明提出了一种无需改装或增加复杂设备，即可利用常规光学显微镜实现超分辨成像的方法。通过微调物镜转盘角度，使物镜光轴与显微镜主光轴形成3°～4°的夹角，并缩小孔径光阑的开口直径，可将显微镜的分辨率从约300nm提高至100nm。该方法合理优化并利用了显微镜自身的光学成像条件，特别适用于对样品表面周期性线阵列纳米结构的高分辨、实时、无损观测。此方法操作简单、成本低廉，拓展了常规光学显微镜的应用范围，在材料微结构分析、半导体芯片检测等领域具有良好的实用价值和应用前景。