一种制备微孔微阀硅橡胶芯片的方法

本发明公开了一种制备微孔微阀硅橡胶芯片的方法，包括以下步骤：S1、用尼龙丝网将PCB感光蓝油涂在硅片上；S2、将涂布蓝油的硅片置于烘箱中干燥，干燥完后，冷却至室温；S3、将印有芯片微通道的菲林片覆贴于蓝油涂层表面，硅片四角用透明胶贴合固定，并用紫外线曝光，然后剥离菲林片，用显影液浸泡硅片，浸泡显影后使用毛刷将没有曝光的部分清除干净，流水冲洗。本发明通过丝网布差异性二次感光蓝油涂布方法，结合两次曝光的方式来进行微孔微阀硅橡胶芯片的制造，避免了使用正光胶长时间曝光带来的线宽变化和技术困难，同时也不需要多次进行曝光，工艺更加简单，也缩短了制造芯片的流程，有利于芯片的制备。