摘要
本发明公开一种弹性波器件,具有:多个功能元件;厚膜布线,所述厚膜布线的厚度大于所述功能元件的厚度;以及围绕金属层,其厚度与所述厚膜布线的厚度相等;顶盖基板,所述顶盖基板位于所述厚膜布线及所述围绕金属层上并由其支撑,并且与所述器件芯片及所述围绕金属层协作而形成对所述功能元件进行气密密封的密封空间;连接用凸块,所述连接用凸块形成于贯通所述器件芯片的通孔内,并且具备固定于所述厚膜布线的内端和位于所述器件芯片的另一面的外侧的外端;散热层;散热用凸块;在器件芯片中,功能元件的形成区域产生的热能够通过散热层和形成于其上的散热用凸块,形成最短的散热路径而向支撑基板侧传递。
技术关键词
弹性波器件
功能元件
布线
芯片
顶盖
散热层
环氧系树脂
电阻材料
支撑基板
填料
高散热
氮化铝
薄膜层
二氧化硅
粗糙度
氧化铝
通孔
陶瓷
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