一种基于Ftest检验的晶圆制程数据分析方法

本发明公开了一种基于Ftest检验的晶圆制程数据分析方法，属于晶圆制程数据分析技术领域。该方法基于晶圆制程数据分析系统实现，包括数据采集模块、数据库、数据处理模块、临界值确认模块、计算分析模块和智能调节模块；该方法通过对晶圆加工结束后的检测参数进行逻辑分组，通过Ftest检验分析，有效解决了在海量的晶圆制程数据中准确识别和解析组间复杂关系的难题，体现了晶圆制程数据分析的整体性和全面性；针对晶圆制造行业的特定需求，计算不同检测参数组的方差和不同检测参数组方差之间的F统计量，能快速识别影响晶圆性能的异常设置参数并控制晶圆加工机台对异常设置参数进行自动修正，提高了晶圆的生产加工质量。