一种薄膜均匀性修正挡板的制作方法

本发明一种薄膜均匀性修正挡板的制作方法，首先使用镀膜机在K9基片上蒸镀适量的膜料，完成后使用检测仪器检测基片的反射率，后将反射率转换为膜厚。不同位置的基片，会转换出不同的膜厚值。其次，建立空间直角坐标系，描述膜料蒸发源位置、基片位置及运动方式，修正挡板的摆放平面等数学因子。再次建立数学模型，计算出修正挡板的宽度，依据宽度完成修正挡板的制作，最终使得各个基片上的膜厚大致相同，保证了光学产品镀膜后的面形变化量满足技术要求。此方法可节省大量的人力、物力，与其他制作方法相比较，计算结果更为精确，实验次数更少，修正挡板的修正精度更高，工艺水平更为先进。