键合装置视觉系统、确定待键合件位姿的方法及存储介质

本发明提供了一种键合装置的视觉系统、一种确定待键合件位姿的方法及一种计算机可读存储介质。所述键合装置的视觉系统包括多个成像模块及视场调节机构。所述多个成像模块用于采集待键合件上多个标记的图像，以表征所述待键合件的位置和/或姿态。所述视场调节机构用于旋转至少一个所述成像模块，调节其视场位置，以覆盖所述待键合件上所述多个标记。本发明可以通过对多个成像模块的视场位置进行旋转调节，用于对多种尺寸的待键合件上多个标记的图像进行采集，以提升晶圆键合工艺的键合效率。