一种基于ZYNQ的相位调制激光干涉位移测量系统及方法

本发明涉及一种基于ZYNQ的相位调制激光干涉位移测量系统及方法，属于相位调制激光干涉位移测量领域，所述系统包括：激光采集系统、数据处理系统、上位机；激光采集系统包括激光器、测量目标、分光棱镜、光电探测器；数据处理系统包括ZYNQ芯片、ADC模块、DAC模块、网络传输模块；激光器射出的激光经过分光棱镜后分成两路光；使用ZYNQ、ADC采集模块、DAC输出模块和PC上位机，降低了数据采集和处理的成本，能够实时反馈测量信息；由于使用了基于卡尔曼滤波的相位生成解调算法，运算速度快，测量精度高。