基于缺陷芯片的覆盖式轨迹检测装置及其检测方法

本发明公开了基于缺陷芯片的覆盖式轨迹检测装置及其检测方法，涉及芯片检测技术领域，包括：支撑座，以及装配在所述支撑座上并呈对称设置的两组芯片检测装置；每组所述芯片检测装置包括盘式螺旋机构，所述盘式螺旋机构的底部设置有切换模组，所述切换模组上设置有芯片检测头；当所述盘式螺旋机构运行时，带动所述芯片检测头以涡状线轨迹递进运行，使得所述芯片检测头以寻边寻点的范围性检测方式覆盖芯片的轮廓；所述芯片检测头包括转轴，以及周向分布在转轴上的光检测头、热红外检测头以及SEM检测头。本发明通过盘式螺旋机构的运动特性，带动芯片检测头进行检测，检测轨迹采用涡状线轨迹递进运行，覆盖性广，检测效率高。