基于绿光激光器制造晶片的方法

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基于绿光激光器制造晶片的方法
申请号:CN202411619626
申请日期:2024-11-13
公开号:CN119328293A
公开日期:2025-01-21
类型:发明专利
摘要
本公开公开了一种基于绿光激光器制造晶片的方法,涉及芯片技术领域,尤其涉及晶片制造技术领域。具体实现方案为:基于绿光激光器对待切割晶锭进行改质处理形成至少一个改质层;基于待切割晶锭形成的改质层进行晶片剥离,得到至少一个晶片。也即,对待切割晶锭进行改质处理,使用的激光器是波长较短且对晶锭具有透过性的绿光激光器,该绿光激光器发射的激光聚光束聚焦能力强,聚焦后光斑较小,输入热影响越小,给材料带来的损耗小。
技术关键词
绿光激光器 切割晶锭 改质 碳化硅晶锭 震动方法 连续激光器 聚光 波长 超声波 光斑 光束 运动 损耗 芯片
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