摘要
本公开公开了一种基于绿光激光器制造晶片的方法,涉及芯片技术领域,尤其涉及晶片制造技术领域。具体实现方案为:基于绿光激光器对待切割晶锭进行改质处理形成至少一个改质层;基于待切割晶锭形成的改质层进行晶片剥离,得到至少一个晶片。也即,对待切割晶锭进行改质处理,使用的激光器是波长较短且对晶锭具有透过性的绿光激光器,该绿光激光器发射的激光聚光束聚焦能力强,聚焦后光斑较小,输入热影响越小,给材料带来的损耗小。
技术关键词
绿光激光器
切割晶锭
改质
碳化硅晶锭
震动方法
连续激光器
聚光
波长
超声波
光斑
光束
运动
损耗
芯片
系统为您推荐了相关专利信息
图像定位方法
碳化硅晶锭
语义分割模型
图象采集装置
图像定位系统
航空煤油
智能控制方法
精馏单元
算法模型
长短期记忆网络
切割参数优化方法
切割工艺
改质
晶圆
参数优化系统
灰色系统预测
连续监测数据
油藏地层
改质
Lagrange函数