薄膜电容电极缺陷检测方法、装置、设备及介质

本申请公开了一种薄膜电容电极缺陷检测方法、装置、设备及介质。所述方法包括：获取薄膜电容电极图像，并进行裁剪；对裁剪后的图像进行手工标注缺陷，并生成VOC格式的XML标注文件；对手工标注缺陷的薄膜电容电极图像和VOC格式的XML标注文件进行第一处理，获取第一处理图像和VOC格式的XML标注文件；将手工标注缺陷的薄膜电容电极图像以及VOC格式的XML标注文件和第一处理图像以及VOC格式的XML标注文件进行对应合并，进行数据集划分生成检测模型的训练集和验证集，并通过训练集和验证集完成对检测模型的训练；通过训练模型，完成对新采集的薄膜电容电极图像的缺陷检测。本申请减少了复杂的图像预处理和特征提取步骤，对小目标的特征捕捉更加精准。