一种抗串扰荧光阵列多组分气体传感芯片及其制备方法与应用

本发明属于气体传感器相关技术领域，其公开了一种抗串扰荧光阵列多组分气体传感芯片及其制备方法与应用，所述传感芯片包括硅基底、并排设置在所述硅基底的凹槽内的硅基光探测器阵列及硅基OLED、依次设置在所述硅基光探测器阵列上的绝缘层、光学滤波超表面及微通道阵列、以及设置在所述硅基底上的封装光学反射器，所述绝缘层、所述光学滤波超表面及所述微通道阵列收容于所述封装光学反射器内；所述微通道阵列内填充有多种荧光染料。本发明能够有效过滤掉发射源的干扰信号及避免不同荧光信号之间的串扰，从而实现对多组分气体的高精度检测。