一种基于TPP和半导体激光器的集成微力微位移传感芯片

本申请涉及微纳传感技术领域，公开了一种基于TPP和半导体激光器的集成微力微位移传感芯片，包括：高功率半导体FP激光器，所述高功率半导体FP激光器的两侧出光面为第一自然解理面、第二自然解理面构成第一FP谐振腔；高斯光束重构波前反射面，所述高斯光束重构波前反射面用于与所述高功率半导体FP激光器靠近其一侧的第二自然解理面构成第二FP谐振腔，所述第二FP谐振腔的腔长可变；第一弹性形变机构，所述第一弹性形变机构与所述高斯光束重构波前反射面连接。本发明将FP激光器与双光子3D打印可形变外腔及优化反射面一体化集成，监测激光波长精密测量力与位移，实现高集成、高灵敏、优异光耦合，突破传感瓶颈。