一种基于机器视觉的导模法制备氧化镓单晶的方法

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一种基于机器视觉的导模法制备氧化镓单晶的方法
申请号:CN202411645444
申请日期:2024-11-18
公开号:CN119465382A
公开日期:2025-02-18
类型:发明专利
摘要
本发明涉及导模法制备氧化镓单晶技术领域,尤其涉及一种基于机器视觉的导模法制备氧化镓单晶的方法。所述方法包括步骤:将已知图片样本分类标注后输入模型,使用YOLOv7的算法对经分类标注之后的所有图片样本进行训练,得到机器视觉判别模型;获取当前生长界面图片;通过机器视觉判别模型对获取的生长界面图片进行判断,得到判断结果;根据判断结果,调整工艺参数,完成氧化镓单晶的制备。本发明将机器视觉应用于导模法制备氧化镓单晶过程中,根据摄像头拍摄的生长界面图片,通过机器视觉判别模型来判断晶体生长的界面是否正常,从而调整功率、拉速等工艺参数,进而制备得到高质量的单晶。本发明具有快速响应、及时调整工艺参数、节省人力成本等优势。
技术关键词
氧化镓单晶 界面图片 样本 视觉 参数 传播算法 网络 标签 在线 功率 晶体 人力
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