摘要
本发明公开一种基于深度学习模型的棱线检测方法、装置、设备及存储介质。方法包括获取单晶硅生产的单周期流程中的单晶硅放肩过程中的第一待测图像和等径过程中的第二待测图像;将第一待测图像和第二待测图像输入深度学习模型中进行处理,以使得深度学习模型输出表征第一待测图像在第一灰度区域中是否存在放肩断线棱线的第一检测结果,以及表征第二待测图像在第二灰度区域中是否存在等径断线棱线的第二检测结果,第一检测结果基于第一灰度区域中的放肩棱线数量以及放肩棱线的突出大小确定,第二检测结果基于第二灰度区域中的等径棱线数量以及等径棱线的突出大小确定。本发明可以提高单晶硅棱线的断线检测效率。
技术关键词
单晶硅
断线
样本
训练深度学习模型
电子设备
图像获取模块
可读存储介质
单周期
存储器
处理器
指令
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计算机
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