微流控芯片的制造方法

本发明涉及细胞分选检测技术领域，具体涉及一种微流控芯片的制造方法。本发明的微流控芯片的制造方法包括以下步骤：提供基底；在基底的一侧表面形成金属膜层；提供盖片，盖片至少设置有微流道；在基底上形成中介键合层，覆盖基底形成有金属膜层的一侧表面；对中介键合层做表面活化处理；将盖片扣合至中介键合层，通过中介键合层与基底键合；其中，盖片为PDMS预聚体盖片；中介键合层为二氧化硅层。本发明可以解决PDMS预聚体盖片与金属膜层基底难以直接键合的问题。