自动网格指状物检测

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自动网格指状物检测
申请号:CN202411662204
申请日期:2024-11-20
公开号:CN120028363A
公开日期:2025-05-23
类型:发明专利
摘要
自动网格指状物检测。本文的实施方案涉及将用于显微成像的样品支撑件处的样品支撑件成像和样品位置标识。一种系统可以包括存储计算机可执行部件的存储器和执行计算机可执行部件的处理器。该计算机可执行部件可包括:射束引导部件,该射束引导部件指示射束系统的聚焦离子束(FIB)设备将离子束引导到样品支撑件处;和场施加部件,该场施加部件通过在由该FIB设备施加该离子束期间引导来自该射束系统的负场的激活来影响由于该离子束而从该样品支撑件发射的二次带电粒子。
技术关键词
二次带电粒子 离子束 计算机程序产品 处理器 检测器 存储计算机可执行 图像生成部件 支撑件 导电部件 电子显微镜 标识 滤波部件 可读存储介质 显微成像 存储器 取向 信号
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