摘要
本发明涉及光动力学技术领域,且公开了基于超表面的高效宽带全介质反射镜及其设计与制备方法,所述全介质反射镜为为若干个光帆单元周期延拓形成的双层膜结构,光帆单元包括氮化硅层和硅层,氮化硅层上设置有若干个圆形孔,若干个圆形孔呈阵列分布于氮化硅层上,硅层上设置有圆形开口。使用时能够在1300nm到1550nm范围内实现高于70%的宽带反射,在1330nm处峰值反射率超过90%,并在被加速时带宽可覆盖多普勒频谱,具有高反射率、宽带响应、接收面积大且质量轻的优点;解决了传统光帆稳定性较差,在高速行驶的情况下无法有效捕捉系外行星的高分辨率图像的问题。
技术关键词
介质反射镜
超表面
高反射镜
双层膜结构
氮化硅层
光动力学技术
芯片
光致抗蚀剂
接收器
蚀刻
SOI晶片
反射率
反射镜结构
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