芯片角度矫正扩膜装置

本发明公开了芯片角度矫正扩膜装置，包括支撑座、环卡、扩环底座、扩膜固定座、扩膜驱动机构和角度矫正机构，所述角度矫正机构包括设置于支撑座上的轴承支撑组件和校准组件，所述校准组件包括步进电机、丝杆模组、校准丝杆底座和校准轴滑台，所述步进电机用于驱动丝杆模组的丝杆转动，所述校准轴滑台与丝杆模组的螺母固定连接，且所述校准轴滑台滑动连接于所述校准丝杆底座上，所述校准轴滑台上设置有U型滑槽，所述扩环底座上设置有凸轮随动器，所述凸轮随动器连接于所述U型滑槽内；当所述校准轴滑台移动时，所述凸轮随动器于U型滑槽中移动并用于带动所述扩环底座转动。本发明的芯片角度矫正扩膜装置，能够快速矫正芯片的角度，矫正精度高。