一种曝光机位置误差补偿参数预测方法

本发明属于曝光机技术领域，具体地而言为一种曝光机位置误差补偿参数预测方法，该方法包括：获取曝光机的对位点与对位镜头坐标数据，获得对位点X方向和Y方向的偏差值；计算得到对位平台的对位中心X方向的偏差值dXj和对位平台的对位中心Y方向的偏差值dYj，j取1和2，表示上掩膜和下掩膜；根据对位平台的对位中心X方向的偏差值dXj和对位平台的对位中心Y方向的偏差值dYi对角度参数进行数据转换得到曝光机的上掩膜和下掩膜的对位中心点与对位平台之间的角度偏差dT；进行误差补偿，通过位置误差补偿参数预测模型对实时获取的处理后的曝光机的对位点与对位镜头坐标数据进行处理得到对位平台在进行对位过程中的补偿值。减少对位时间、提高生产效率。