阳极脉冲电镀的电流密度调节方法、装置及设备

本申请涉及一种阳极脉冲电镀的电流密度调节方法、装置及设备。所述方法包括：获取当前时段的阳极脉冲电流，基于双脉冲电流模式对阳极脉冲电流进行周期性反向调制得到反向脉冲电流信号；基于反向脉冲电流信号对阳极脉冲电流进行闭环反馈调节处理得到已调节的阳极脉冲电流，基于已调节的阳极脉冲电流的电性特征得到阳极脉冲电流密度；基于阳极脉冲电流密度与阴极区域的电性耦合关系确定阴极区域的阴极电位变化趋势，基于阴极电位变化趋势对阳极脉冲电流密度的时间序列进行补偿处理得到电流密度调节策略，以用于在脉冲电镀周期内维持阳极脉冲电流密度处于预设的动态变化范围内。采用本方法能够实现阳极脉冲电流密度的精准动态控制。