使用机器学习算法的缺陷检测

提供了系统和方法，包括：获得由检查工具采集的提供样本的第一区域的信息的第一检验图像；将至少第一检验图像馈送到机器学习算法，该机器学习算法被配置成用于针对第一检验图像的多个像素中的每个给定像素或针对第一检验图像的多个像素组中的每个给定像素组，确定提供像素强度分布的信息的给定模型的一个或多个给定参数；针对所述每个给定像素或给定像素组，使用一个或多个给定参数中的至少一些给定参数、或与一个或多个给定参数相关联的给定模型、以及给定像素或像素组的测量像素强度来确定给定像素中或给定像素组中是否存在缺陷。