一种芯片制造用气体的过滤分离系统

本申请涉及气体过滤分离的技术领域，提供一种芯片制造用气体的过滤分离系统，包括原料储罐、过滤机构、滤料再生机构，过滤机构包括依次连通的颗粒过滤器、吸附过滤器和干燥器组，原料储罐与颗粒过滤器相连通，干燥器组包括进气主管、出气主管、控流组件和多个干燥过滤器，进气主管一端与吸附过滤器相连通，多个干燥过滤器并联设置，控流组件用于控制不同的干燥过滤器连通至颗粒过滤器和出气主管之间；滤料再生机构包括相互连通的加热罐、第二驱动源和热气吹扫组件，热气吹扫组件对应干燥过滤器设置有多组，且热气吹扫组件位于干燥过滤器内。本申请能够缩短停机时间的同时，减少外界杂质对特种气体的二次污染，减轻过滤系统的过滤负担。