一种料盒检测装置、复合机器人及料盒检测方法

本申请实施例提供一种料盒检测装置、复合机器人及料盒检测方法，料盒检测装置包括安装基座、驱动机构、光电支架、光电传感器和光电挡板；安装基座设置在复合机器人的作业面；复合机器人的作业面上设置有检测储位，安装基座、检测储位和光电挡板位于同一作业面上，且安装基座设置在检测储位的一侧，光电挡板设置在检测储位的另一侧；光电传感器用于在驱动机构上跟随光电支架匀速沿平行于料盒的高度的方向做直线运动，以及检测并获取料盒对基板的承载信息；采用本申请提供的技术方案，可以在复合机器人转运料盒的过程中，检测料盒对基板的承载信息，识别并处理未被基板填满的料盒，避免其影响后续工序的效率，保证整个半导体车间的产线高效运行。