一种刻蚀机用晶圆传送手指及传送系统

本说明书实施例提供一种刻蚀机用晶圆传送手指及传送系统，传送手指包括手指本体和推动机构，推动机构推动晶圆相对于手指本体运动，手指本体上设置有至少三组不在同一条直线上的滚动件，手指本体远离推动机构的一端设置有限位感应机构，推动机构推动晶圆向靠近限位感应机构的方向运动，限位感应机构与推动机构相配合对晶圆进行夹持固定。通过在手指本体上设置至少三组不在同一条直线上的滚动件，当推动机构推动晶圆运动时，滚动件相对于手指本体转动，将晶圆的滑动摩擦转变为滚动摩擦，避免晶圆背部出现划伤的情况，同时在手指本体上设置限位感应机构，限位感应机构在晶圆被夹持固定时控制推动机构停止推动晶圆运动，保证对晶圆的夹持效果。