融合生成对抗网络的晶圆缺陷识别方法及系统

本发明提供了融合生成对抗网络的晶圆缺陷识别方法及系统，涉及图像处理技术领域，包括：采集基础晶圆图像数据集，包括正常晶圆图像数据和缺陷晶圆图像数据；设计生成对抗网络结构，进行交替平衡训练，构建晶圆图像生成器；进行缺陷数据生成，得到缺陷生成图像数据，筛选缺陷增强图像数据；对待检测晶圆图像进行语义区域分割，得到M个晶圆图像区域；进行通道匹配和缺陷识别，确定晶圆缺陷特征识别结果。本发明解决了传统的晶圆缺陷检测方法主要依赖于人工目检或基于简单图像处理算法的自动检测，对复杂多样的晶圆缺陷的识别能力和泛化能力有限，导致缺陷检测精度不足的技术问题。