一种晶圆目视检验装置

本实用新型公开了一种晶圆目视检验装置，包括工作台，以及设置在工作台上的机械臂、晶圆仓组和翻转装置，晶圆仓组和翻转装置位于机械臂的运转路径上，机械臂和翻转装置与控制器连接；所述晶圆仓组包括多个晶圆仓，各晶圆仓用于存储不同状态的晶圆片，并且晶圆片自上而下间隔设置；所述翻转装置上设置有夹持机构，用于对待检测晶圆进行固定并翻转；所述吸盘与机械臂连接，吸盘用于对晶圆片吸附；该装置实现了晶圆片在目视检测过程中的自动转运，避免工作人员与晶圆片的接触，解决了运转过程对晶圆片的损伤，同时提高了检查效率。