晶圆表面特征提取方法、系统及存储介质

本发明公开了一种晶圆表面特征提取方法、系统及存储介质，获取晶圆图像，将晶圆图像由RGB空间转换为YUV空间，并对晶圆图像进行基于多尺度形态学顶帽变换的表面特征增强预处理；对YOLOv3算法进行改进，改进YOLOv3算法的交并比计算方式为：R=RDIoU+RSIoU，RDIoU为距离交并比计算函数，RSIoU为形状差异计算函数；将YOLOv3算法中的激活函数改为ELU激活函数；对改进的YOLOv3算法进行训练，使用训练好的改进的YOLOv3算法对晶圆图像的特征进行提取。本发明方法能够有效克服因晶圆自身特性、光照等因素造成的特征提取难问题，实现了晶圆表面图像低辨识弱特征的高效提取。