一种VCSEL CPO转接板结构及其制作方法

本发明公开一种VCSEL CPO转接板结构及其制作方法，该方法包括提供一玻璃基衬底，玻璃基衬底具有相对的第一表面和第二表面；自第一表面对玻璃基衬底开孔形成盲孔；将玻璃基衬底的第一表面临时键合于载板上；自第二表面对玻璃基衬底进行减薄处理至第二表面靠近盲孔的底侧；于玻璃基衬底的第二表面上制作重布线结构，重布线结构在对应盲孔的位置形成贯通的开口；于重布线结构上制作若干外接焊盘，并于部分外接焊盘上制作焊球；将玻璃基衬底的第一表面与载板解键合；自开口对玻璃基衬底的第二表面开孔至贯通盲孔，以形成玻璃通孔。该VCSEL CPO转接板结构能够有效提高VCSEL光信号的传输效率，制成简单，成本低，良率高、适合大规模量产。