一种晶体内部体缺陷的检测方法

一种晶体内部体缺陷的检测方法，包括以下步骤：S1、取经过检测的存在内部体缺陷的晶体；S2、利用线光源从晶体侧面进行照射，以获取包含晶体内部体缺陷的散射光的晶体层析图像；对晶体层析图像进行大小修正；S3、对修正后的晶体层析图像进行时序分析及处理，突出缺陷点的特征；S4、结合已知晶体的内部缺陷位置及该位置的检测时序信号，训练RNN模型得到晶体内部缺陷检测模型；S5、重复训练得到最终晶体内部缺陷检测模型；S6、将经过S2‑S3处理得到的待测晶体的时序信号输入最终模型中，即得到内部缺陷位置信息；S7、根据缺陷在平面上的表征滤除假缺陷。本发明解决了目前晶体内部缺陷识别过程复杂和识别效率低的问题。