一种基于深度学习的光学衍射元件缺陷检测方法、系统和介质

本发明公开了一种基于深度学习的光学衍射元件缺陷检测方法、系统和介质，方法包括获取第一待测图像，对第一待测图像进行预处理得到第一待测图像的第一ROI区域子图并建立几何直角坐标系；加载提前部署的第一深度学习模型对第一ROI区域子图进行语义分割，第一深度学习模型用于识别第一点胶区域并输出第一特征图，第一深度学习模型基于Unet++网络结构,第一深度学习模型的编码器和解码器均采用多尺度大核卷积模块；第一ROI区域子图采用第一2D传统算法检测第一缺陷；第一特征图采用第二2D传统算法检测第二缺陷和第三缺陷。方法利用深度学习算法，结合2D传统算法能提高光学衍射元件检测的速度和准确率。