一种低重频的螺旋微腔结构及设计方法

一种低重频的螺旋微腔结构及设计方法，属于硅基集成光子芯片领域。低重频的螺旋微腔结构包括第一螺旋弯曲波导、第二螺旋弯曲波导、内部连接弯曲波导、外部连接弯曲波导和总线波导。内部连接弯曲波导的各点曲率半径随长度变化均满足欧拉螺线方程，用于连接第一螺旋弯曲波导与第二螺旋弯曲波导的起始点。外部连接弯曲波导用于连接第一螺旋弯曲波导与第二螺旋弯曲波导的终点。第一螺旋弯曲波导、第二螺旋弯曲波导、内部连接弯曲波导、外部连接弯曲波导构成封闭的螺旋环型波导。总线波导中传输的光束耦合入螺旋环型波导。本发明还公开一种低重频的螺旋微腔结构的设计方法。本发明能够降低高阶模式串扰以及模式失配引起的损耗，提升芯片面积利用率。