微流控芯片、制作方法及微流控系统

本申请属于微流控技术领域，具体涉及微流控芯片、制作方法及微流控系统，微流控芯片包括：第一基板和第二基板，第一基板包括第一衬底以及第一电极；第二基板与第一基板相对设置，并与第一基板形成用于容纳液滴的容纳腔；第二基板包括第二衬底、第二电极层和介电层，第二电极层和介电层均设于第二衬底上，第二电极层包括多个阵列排布的第二电极，相邻第二电极之间相互间隔设置，第一电极和第二电极能够驱动液滴移动；介电层覆盖第二电极设置，且介电层包括至少两层介电膜，至少两层介电膜在第二衬底至第一衬底的方向上依次叠层设置，介电层的粗糙度小于任意介电膜的粗糙度。本申请方案能够避免液滴极化带电，保证微流控的使用寿命和提高用户体验。