摘要
本申请公开了一种功率模块,属于半导体技术领域。所述功率模块包括:基板,包括导电层;多个芯片,连接在所述导电层上,多个所述芯片沿第一方向并排设置;隔离结构,贯穿所述导电层,并沿第二方向延伸,沿所述第一方向相邻的所述芯片之间具有所述隔离结构,所述第二方向与所述第一方向相垂直。本申请能够在不增加功率模块体积的情况下,降低芯片间的热耦合效应,提高芯片间的温度分布的均匀性,提高功率模块的散热效率,进而提高功率模块的可靠性和寿命。
技术关键词
功率模块
隔离结构
芯片
导电层
DBC基板
氮化镓器件
碳化硅器件
散热层
导热
效应
寿命
关系
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