异质集成芯片

本公开提供了一种异质集成芯片，涉及量子通信技术领域。异质集成芯片，包括依次连接的输入单元、第一波导转换单元、第一调相单元、第二波导转换单元以及第二调相单元；输入单元的波导为硅波导；第一波导转换单元包括硅波导和氮化硅波导，用于将第一波导转换单元中的硅波导输出的光信号耦合输出至氮化硅波导中；第一调相单元的波导为氮化硅波导，与第一波导转换单元中的氮化硅波导连接，用于抑制输入的光信号相位噪声的引入；第二波导转换单元包括氮化硅波导和硅波导，用于第二波导转换单元中的氮化硅波导输出的光信号耦合输出至第二波导转换单元中的硅波导中，第二调相单元的波导为硅波导。