硅片传输方法、分拣设备和硅片传输装置

本申请提供了硅片传输方法、分拣设备和硅片传输装置，应用于分拣设备，所述方法包括：接收来自EAP设备自动化平台的第一作业控制指令或者第二作业控制指令；在接收到所述第一作业控制指令的情况下，将硅片从第一载体传输至目标载体内的目标承载位置；或者，在接收到所述第二作业控制指令的情况下，将所述硅片从所述第一载体传输至第一目标装载端口的其中一个第二载体内的其中一个承载位置。本申请通过第一作业控制指令和第二作业控制指令来区分传输路径，使得分拣设备可以根据实际生产需求灵活切换作业形式，实现自动调度和分拣控制，不仅有效降低了错误率，并且有利于实现设备稼动率的最大化。