调节太赫兹焦平面探测器的谐振频率的方法及其应用

本发明公开了一种调节太赫兹焦平面探测器的谐振频率的方法及其应用。太赫兹焦平面探测器包括倒装互连的光敏芯片和CMOS读出电路，光敏芯片包括原衬底以及设置在原衬底上的天线阵列，在原衬底背对天线阵列的背面叠层设置x个频率调节补偿板，频率调节补偿板与原衬底的材质相同，调整频率调节补偿板的厚度或数量，从而改变太赫兹焦平面探测器的谐振频率，使太赫兹焦平面探测器在所需频率下的谐振峰对应的谐振频率的实测值接近或等于设计的理论值。本发明通过调整通过增加频率调节补偿板以及调整x个频率补偿调节板厚度，改变响应频谱的周期与响应峰的位置，从而实现对太赫兹焦平面探测器的谐振频率的调节。