一种基于太赫兹拓扑光子晶体波导的微流控传感芯片及其制备方法

本发明涉及微流控传感芯片技术领域，尤其涉及一种基于太赫兹拓扑光子晶体波导的微流控传感芯片及其制备方法，本发明应用微流控通道结构，可降低样品中极性物质对太赫兹波段电磁波的吸收，因此检测灵敏度高、消耗样本量少；应用拓扑光子晶体波导免疫制造缺陷和后向散射的特性，可提高传感器生产的良品率和信噪比，利用拓扑传输边缘态的特性，将电磁波能量精准约束在微流控通道范围内，可提高传感器的灵敏度；另外，压电陶瓷微泵可实现样品高精度进给，简化使用步骤和减少集成体积，以及气泡分离装置解决微重力环境下气泡悬浮导致进样压力变大的问题，保证芯片工作的稳定性；并且，该微流控传感芯片适用于微重力环境。