一种对称悬架式的高Q值MEMS谐振器及其恒温控制系统与方法

一种对称悬架式的高Q值MEMS谐振器及其恒温控制系统与方法，高Q值MEMS谐振器为盘式对称结构，工作模态为lame模态，包括第六固支锚点，第六固支锚点的左右两侧经锚定梁和一个传热框连接，传热框内经连接梁连接谐振器本体，谐振器本体悬浮在传热框中；第六固支锚点的上下两侧经微电阻梁和第五固支锚点、第七固支锚点连接；MEMS谐振器采用悬架式设计，并采用剪切模态；本发明MEMS谐振器采用悬架式设计，并采用剪切模态，以频率误差作为判断标志，主动控制焦耳热模块的加热效率，维持MEMS谐振器的温度恒定，实现高精度、低功耗、低成本的温度补偿，提高了谐振器的机电耦合系数，降低了加工残余应力，减小了谐振器的热弹性损耗，综合提高了谐振器的Q值。