摘要
本申请提供一种封装结构的制作方法、封装结构及电子设备,涉及半导体技术领域。所述方法包括:提供第一基板结构,第一基板结构包括第一表面及第二表面,在第一表面形成第一封装层,在第二表面设置第一载板;提供第二基板结构,第二基板结构包括第三表面及第四表面,在第三表面形成第二封装层,在第四表面设置第二载板;将第一封装层与第二封装层键合;移除第一载板和第二载板,在第一基板结构的第二表面形成第一堆积层,在第二基板结构的第四表面形成第二堆积层;将第一封装层与第二封装层解键,如此,可以同时制作第一堆积层和第二堆积层,并得到第一封装结构和第二封装结构,提高了加工效率,并解决了不对称结构带来的翘曲问题。
技术关键词
基板结构
封装结构
布线
载板
导电柱
衬底
光刻工艺
光刻胶
电子设备
芯片
通孔