一种SBFET的仿真方法、装置及设备

本发明公开一种SBFET的仿真方法、装置及设备，涉及肖特基势垒二极管技术领域，以解决现有技术中SBFET栅极电压与漏极电流的仿真转移特性曲线中电流小的问题。方法包括：获取SBFET栅极电压与漏极电流的实测转移特性曲线；对TCAD仿真模型进行预处理，得到目标TCAD仿真模型；基于目标TCAD仿真模型以及实测转移特性曲线，调整利用目标TCAD仿真模型进行转移特性仿真时目标载流子的质量参数，得到目标载流子的目标质量参数；基于目标载流子的目标质量参数，利用目标TCAD仿真模型对SBFET的栅极电压与漏极电流进行转移特性曲线仿真，得到仿真转移特性曲线；提升了SBFET栅极电压与漏极电流的仿真转移特性曲线中的电流。