用于扫描硅片的扫描电子显微镜的故障诊断方法和装置

本发明提供了一种用于扫描硅片的扫描电子显微镜的故障诊断方法和装置，涉及半导体技术领域，所述用于扫描硅片的扫描电子显微镜的故障诊断方法包括：获取在线SEM进行硅片检测时的实时运行相关数据，将实时运行相关数据输入训练好的故障诊断模型，故障诊断模型是利用在线SEM对的历史运行相关数据、历史运行相关数据的历史故障特征信息和历史故障特征信息对应的历史修复策略进行训练得到的，获取故障诊断模型输出的在线SEM的实时故障特征信息以及针对实时故障特征信息的实时修复策略，利用实时修复策略对在线SEM进行在线修复，得到修复后的在线SEM。本发明能够减少在线SEM设备的故障诊断和排除的耗费时长，提高硅片的检测效率。