一种基于迈克尔逊干涉仪的推挽式光纤MEMS加速度计

一种基于迈克尔逊干涉仪的推挽式的光纤MEMS加速度计，包括机械组件和两根传感光纤，机械组件由固定底座和加速度传感芯片构成，加速度传感芯片则包括外部框架、质量块和两组弹簧悬臂梁，外部框架上设有细光纤槽，质量块上设有两个作为反射面的凸型结构，传感光纤端面与质量块凸型结构顶面之间构成两个空气腔，作为迈克尔逊干涉仪的传感臂。当加速度计受到外界加速度作用时，质量块相对于外部框架移动，带动两个空气腔的腔长呈推挽式变化，从而改变光程并产生干涉信号。通过光电探测器、数据采集电路和计算机对干涉信号进行采集和解调，可以得到振动加速度信号。本发明具有灵敏度高、噪声共模抑制能力强等优点，适用于各种动态振动响应测量场合。